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1.设备规格：（L)1180X(W)995X(H)1768.5mm              

2.真空腔式尺寸：（W）680X（D)705X（H)700             

3.工作高度：1000mm+~-20mm工作台表面到地面高度）    

4.灌晶玻璃高度尺寸：单层大于200mm(可生产双层）       

5.抽气速度：15分钟达到1帕（空载）                    

6.极限真空度：0.2帕（空载）                          

7.加热方式：采用板式加热，顶部采用红外加热灯（配灯罩） 

8.充气流量控制范围：（0.4~20）L/min                   

9.数显式真空计：范围1.33X10~5帕~1X10~-2 帕                   

10.充气系统：快充与慢充                                 

11.真空机組配置：干泵+罗茨泵